| 设备型号 | HMDS-90 |
| 温度范围 | RT+25~200°C |
| 温度分辨率 | ±0.1°C |
| 极限真空度 | ＜10pa |
| 抽气速率 | 4L/S 常压~100pa时间＜5min |
| 氧含量 |
＜10ppm |
| 洁净度 | class10 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏（人机交互界面） |
| 内腔尺寸 | W450mm*D450mm*H450mm |
| 氮气流量 | 0-100L/min |
| 电源功耗 | AC220V 50HZ 4.5KW |
| 箱体 | 3mm优质SUS316#洁净不锈钢内胆 |
| 外壳 | SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆 |
| 保温材料 | 环保无油型陶瓷纤维防火阻燃材料 |
| 安全保护措施 | 1.接地保护 2.过载保护 3.超温保护 |
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