志昇HMDS无尘无氧化烘烤箱，是融合HMDS预处理技术与无尘无氧化环境控制的专业设备，为精密电子制造等领域提供可靠的制程保障。
在核心功能上，它精准把控温度、时间等关键参数，能在硅片、基片表面均匀涂布HMDS涂层，大幅提升光刻胶与基片的黏附性，同时减少光刻胶用量，降低生产成本。其控温范围覆盖RT+10℃至250℃，可满足不同制程的温度需求。
设备采用不锈钢工作室搭配不锈钢加热管，配合高效过滤系统与氮气保护装置，能营造100级洁净度的无氧化环境。通过充入净化保护气体排出未净化气体，有效避免基片氧化，提升产品质量。温度波动度控制在±0.5℃，温度偏差不超过±2.0℃，确保制程环境稳定。
此外，设备配备保温密封条与压紧装置，保障箱体密封性，减少热量散失与外界污染。双层抽动式载物钢板设计，方便工件取放与批量处理，兼顾实用性与高效性。
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