MSA-600显微式激光测振仪
MSA-600显微式激光测振仪
负责人：吴经理 132.4667.5433
MSA-600显微式激光测振仪
型号： MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
简介：
表面形貌、动态运动分析及可视化是MEMS器件等微型结构的测试和研发的关键，这对于验证有限元算法、确定串扰效应和测量表面形变是必不可少的。
MSA-600是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。
典型应用
· 微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动
如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等
· 微型结构的面内振动
如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动
· 微型结构的表面形貌
如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌
产品亮点：
· 集多功能于一体的光学测量工作站
· 真正的实时测量，无需数据后处理
· 的亚pm位移分辨率
· 测量速度快，振型可视化显示
· 操作界面直观友好
· 全自动化测量，易于集成至商用探针台上
【MSA-600系统配置】
基本配置： 面外振动频率为2.5 MHz
选配件
频率扩展： 面外振动频率达25 MHz
差分测量： 面外振动可进行差分测量
面内运动分析： 面内振动测量
形貌测量： 表面形貌测量
【面外振动测量】
测量原理 激光多普勒原理
型号： MSA-600-M (标准) MSA-600-V (带宽扩展)
最大频率： 2.5 MHz 25 MHz
档位数量： 13 个速度档位 13 个速度档位
最大振动速度： 0.001 m/s … 10 m/s,与档位有关 0.001 m/s … 10 m/s,与档位有关
速度分辨率均值1：0.005(μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,与档位和频率有关
位移分辨率 50 fm/√Hz 50 fm/√Hz
【面内振动测量】
测量原理 频闪法
型号 MSA-600 带面内振动测量模块
带宽 1 Hz … 2.5 MHz
max速度 > 0.1 m/s … 10 m/s（与镜头放大倍数有关）
镜头放大倍数2 1x … 100x
位移分辨率3 5 nm
时间分辨率 100 ns (频闪曝光时间); 频闪最大间隔时间 ±40 ns
系统输出 位移量、波特图、阶跃响应、衰减曲线、轨迹图等
【光学部分技术参数】
MSA-I-600 光学头
激光波长 532 nm
激光安全等级 class 3R (可见光输出小于5 mW)
照明光源波长 470 nm
照明光源安全等级 class 2 LED 灯(可见光输出小于20 mW)
摄像机 全场逐行扫描
摄像机分辨率 1732 x 1200 像素
摄像机帧速 56 fps
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪
PSV-500 扫描式激光测振仪
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec（德国Polytec GmbH） 已停产的型号，该公司主要生产激光测振仪、光学测量系统、传感器和工业测量设备 。以下是部分已知的已停产或旧型号（具体停产时间可能因产品线更新而异）：
【1. 激光测振仪（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列 （早期型号，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列 （较老版本）
RSV-150 （远程振动传感系统，部分功能由新系统替代）
【2. 工业传感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （旧版激光位移传感器）
ILD 2200 （早期型号，后续被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （旧版光学距离传感器）
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 （扫描式激光测振仪，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些旧型号）
【英国Hansford Sensor振动变送器】
HS-4200250108
HS-420IFL0255008T4
HS-420F1000108-010
HS-100S5005002
HS-420I0200105-005
HS-1042505406V3.3
HS-1045005406V3.3
HANSFORD SENSORS HS-620
HS-4290255408
【韩国MKP流量计】流量传感器、控制器
VIC-D145，VIC-D150、VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245
TSC-145、TSC-150、TSC-230、TSC-220、TSC-245
TSM-D210、TSM-D220D、TSM-D230、TSM-D240D
【韩国HITROL】
HCC-95PH、HCC-609N
HE-3H、HE-5H选配了PVC法兰
HFS-2S、HFS-2T 桨式流量开关
HLC-96RF-R
HLC-100-P
HLC-200A 电极式液位开关
HLC-300、HLC-400
HLC-901-L、HLC-901PN
HLC-901P超老款
HLC-901P老款
HLC-901P新款
HLV-300
HM-12H、HM-12S
HPC-95P
HPC-100CT-2、HPC-100CTW-2、HPC-1000CTH-2
HQ-3
HQ-36-2F、HQ-66-3F、HQ-66-4F
HR-30C-4FHR-30S-2F
HR-30S-2F(L585)(1)
HR-30SH-1F、HR-30TH-1F、HR-30V-3F
HT-100、HT-100CT、HT-100CT-2、HT-100RS-EX
HT-100RS-L、HT-100RT、HT-100RTH
HTM-20N-A
HTM-921、HTM-930N、HTM-930
R-I CONVERTER
新款HT-100RT
