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Pro.Surf大视场3D轮廓仪
TopMap Pro.Surf系列产品,基于白光干涉原理,以最前沿的CSI与Corelogram相结合的CST技术为核心,是一款特点的光学3D轮廓仪。TopMap Pro.Surf系列光学3D轮廓仪集非接触、大视场、纳米级精度和70mm超大扫描范围等技术特点于一身,能够满足从光滑到粗糙表面、从极深色、超低反射率到全反射表面等几乎所有表面轮廓的测量,此外还能够提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等标准的多种参数分析与评价,如粗糙度、平面度、台阶高度、平行度、波纹度等,广泛应用于汽车工业、燃油喷射系统、传动、密封、光学加工、精密半导体及3C行业和航天、航空、国防军工和科研院所等领域。
典型应用:
半导体:衬底、外延片平坦度和形貌测量,精密器件及传感器
汽车行业:空气悬挂组件,精密传动组件,燃油喷射系统,高压油泵
密封行业:精密密封表面、泵阀类密封组件
表面工程:摩擦学,涂层厚度,形变分析
3C电子:电子元件平整度,引脚位置,屏幕平面度、厚度均匀性,印刷电路
手表:组件平面度、台阶高度、平行度、轮廓,表镜
产品亮点:
1.45nm分辨率
单次扫描视场高达45x34mm,支持视场拼接拓展至228x221mm
横向分辨率低至14.3微米
非接触、垂直扫描测量模式,扫描范围达70mm
没有外置物镜,无碰撞风险
磁悬浮式扫描导轨,无损耗
高精度:
典型平面度偏差优于75纳米
典型台阶高度偏差优于0.026%(评估≥0.45mm台阶)
高重复性:
平面度重复性偏差优于5纳米
台阶高度重复性优于0.011%(评估≥0.45mm台阶)
支持深孔和盲孔测量
支持隔窗测量
支持在线集成方案
激光多普勒测振仪、激光测振计
(激光)多普勒振动传感器
非接触式振动传感器/测量仪
光学振动测量系统
【一】单点式激光测振仪
CLV-2534-3激光测振仪
IVS-500 工业用激光测振仪
VFX-F-110激光测振仪
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪声光学头
VibroGo便携式激光测振仪
【二】全场扫描式激光测振仪
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全场扫描式激光测振仪
PSV QTec 3D超低噪声三维扫描式激光测振仪
PSV QTec超低噪声扫描式激光测振仪
ROBOVIB 机器人测振站
PSV-500-3D 扫描式激光测振仪
PSV-500 扫描式激光测振仪
MPV-800 多点式激光测振仪
【三】特殊应用激光测振仪
VibroFlex Range 超远距离激光测振仪
RLV-5500 旋转式激光测振仪
HSV-100 高速型激光测振仪
IPV-100 面内激光测振仪
【四】显微式激光测振仪
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
MSA-600 显微式激光测振仪
MSA-100-3D显微式测振仪
MSA-050显微式激光测振仪
【五】形貌测量仪
Pro.Surf大视场3D轮廓仪
Micro.View白光干涉仪
关于 Polytec(德国Polytec GmbH) 已停产的型号,该公司主要生产激光测振仪、光学测量系统、传感器和工业测量设备 。以下是部分已知的已停产或旧型号(具体停产时间可能因产品线更新而异):
【1. 激光测振仪(Laser Vibrometers)】
OFV-5000系列 (早期型号,已被OFV-5500/OFV-6000替代)
OFV-3000系列 (较老版本)
RSV-150 (远程振动传感系统,部分功能由新系统替代)
【2. 工业传感器(Industrial Sensors)】
ILD 1400/1700 (旧版激光位移传感器)
ILD 2200 (早期型号,后续被ILD 2300等替代)
OADM 12/I (旧版光学距离传感器)
【3. 其他光学系统】
PSV-300/400 (扫描式激光测振仪,已被PSV-500系列取代)
VibroFlex (某些旧型号)






