预抽真空炉的核心思路是“先抽真空、后升温、再充气、再冷却”，其工作原理可分为五步：
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真空加热
真空度达标后，钼丝/石墨发热体通电，以辐射方式对工件均匀加热；因无对流，炉内多区控温（±5 ℃）保证工件表里一致。 -
充气与冷却
保温结束，关闭高阀，回填高纯N₂/Ar至0.3–0.8 MPa，启动大功率风扇循环，实现气淬快速冷却；也可自然冷却，满足不同的冷却速率要求。 -
取料
炉温降至60 ℃以下，启动机械泵再次轻抽真空（防炉门开启瞬间吸入湿空气），随后破真空开门，完成无污染、少氧化的热处理循环。