产品概述：
PT-T1200 CVD是具有80mm直径氧化铝管真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的管式炉。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。
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技术参数：
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型号 |
带有3个MFC气体通道的 PT-T1200 CVD |
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显示 |
发光二极管 |
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温度 |
1200℃短时间 |
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连续工作温度 |
≤1100℃ |
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加热速率 |
建议：0〜10℃/ min |
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温度区 |
220毫米+220毫米+220毫米 |
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加热元件 |
钼电阻丝 |
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热电偶 |
K型 |
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温度控制精度 |
±1℃ |
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管尺寸 |
80x1200mm（外径x长） |
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管座 |
包括两个纤维状陶瓷块，用于阻止管子内部的热辐射（在加热之前，陶瓷块必须完全插入炉膛中）。 |
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温度控制 |
通过SCR功率控制进行PID自动控制 |
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程序和斜坡 |
30步可编程 |
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真空法兰 |
带阀的不锈钢真空法兰
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功率 |
220V，50 Hz，单相6KW |
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质量流量计 |
三种精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围为0〜100 sccm MFC 2：气体流量范围为0〜200 sccm MFC 3：气体流量范围为0〜200 sccm （气体流量范围可根据您的要求） 底壳上装有一个气体混合罐，底壳左侧装有3个不锈钢针阀，以手动控制3种气体的混合 下面的照片是4 MFC供参考。3 MFC将带有3个显示器
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