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»微控扩散炉-厂家直销-支持定制
微控扩散炉-厂家直销-支持定制
产品价格：
/
人民币
最后更新：
2024-09-13 09:14:41
产品产地：
山东青岛
发货地：
山东青岛
(发货期：当天内发货)
供应数量：
不限
有效期：
长期有效
最少起订：
1
浏览次数：
89
公司基本资料信息
青岛福润德微电子设备有限公司
岳晓茜
小姐
业务员
会员
[试用会员产品]
邮件
896337158@qq.com
手机
15314229122
电话
传真
地址
青岛市城阳区北万工业园6号
产品详细说明
扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
扩散炉技术指标：
可处理硅片尺寸：2—12英寸
外型形式：卧式1—4管结构
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性： ≤±1℃/24h
温度斜变： 可控升温速率15℃／min
可控降温速率： 5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC
控制方式：工控机、触摸屏
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