5100系列是一款质量流量控制器，它实现了无焊接结构（VCR规格），金属密封的基本性能，以及半导体工艺气体控制所需的±1％精度。
板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率，可以处理1 sccm（N2）的微流量。
通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度，高速传感器响应
采用电磁铁电磁阀常闭阀
由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
采用隔膜阀，减少死体积
面对面，体型和接线连接与其他公司的更换兼容
技术参数：
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流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） |
1SCCM~20SLM（任意条件选择） | |
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| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
约1000g
阀门方式
比例螺线管阀门（未通电时关闭）
控制范围
2~100％（F.S.）
响应速度
1秒内（±2％F.S.内）
准确性
±1％F.S.
温度系数
0.1％F.S./°C（15~35°C）
再现性
±0.2%F.S.
操作压差范围
F.S.≤5SLM50. 300kPa
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
选项：低压差规格（LP）可根据条件制造
可工作压力
300kPa（G）以下
耐压
980kPa（G）
He泄漏率
1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度
0~50℃
允许环境湿度
10~90%RH（无结露）
气体接触材料
车身SUS316L
隔膜SUS316L
阀座PTFE
密封材料SUS316L，Ni，Au
选项：SUS密封（SU），内部磨削规格（KP）
电气连接
Dsub 9针KFC 标准（符合SEMI标准）
流量设定
输入信号
0~5 VDC（输入阻抗1MΩ以上）
流量输出信号
0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源
+15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）200 mA
配件（车身尺寸）
标准1/4 VCR等效选项1/4 SWL
重量