日本KOFLOC
EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
EX700全新数字式气体质量流量计
EXE-FLOW(TM)是Exact“准确的流量测量”
Excellent以“卓越的功能”为理念进行产品化。
从小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm)，并准备了11范围标准库存。
搭载新型高性能传感器的低成本模型
小型轻量、单电源DC24V驱动
搭载RS-485通信功能标准
RoHS、CE标准对应
用显示器一体型简单操作：
瞬间/累计流量显示；气体种类切换；CF任意设定
上下限警告设定；流量单位变更；可选针阀
性能参数
EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
量程(N2)
10SCCM-200SLPM
气体
非腐蚀气体，部分腐蚀气体
精度
10SCCM-20SLM
±1.0%FS
50-200SLM
±1.5%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
2秒以内
耐压
1.0Mpa
温度范围
5~50℃
精度保证温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316、SUS316L
密封圈VITON、NBR、PTFE
电气接口
DB9
通讯
RS485，Modbus-RTU
输出信号
0-5V\1-5V\4-20mA可选
供电电压
+24VD
消耗电路
最大100mA
管路连接
1/4卡套，20SLM以内
3/8卡套，50-200SLM
可选
针阀