| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | PT-10S | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 腔体材质 | 不锈钢表面处理 | ||
| 供电电源 | AC220V | ||
| 工作电流 | 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵) | ||
| 射频电源功率 | 0-300W可调 | ||
| 射频频率 | 40KHZ（偏移量小于0.2KHz） | ||
| 频率偏移量 | 小于0.2KHz | ||
| 特性阻抗 | 50欧姆，自动匹配 | ||
| 真空度 | 1pa-30Pa | ||
| 气体路数 | 双路气体输入 | ||
| 气体流量 | 10—160ml\/min(可调) | ||
| 过程控制 | PLC人机界面自动与手动方式 | ||
| 清洗时间 | 1-99999秒钟可调 | ||
| 功率大小 | 10％-100％可调 | ||
| 内腔尺寸 | 220 ×260×200mm 10L | ||
| 外形尺寸 | 650 ×550×440mm | ||
| 真空泵 | 2XZ-4（抽速4L\/S） | ||
| 真空室温度 | 小于30°C | ||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||
| 品牌 | 三和波达 | ||
