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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 型号规格 | LT7130/G/U | ||
| 激光波长 | 1064nm/532nm/355nm | ||
| 激光功率 | 8W/5W/3W | ||
| 对焦方式 | 自动 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 激光束运动范围 | 60mm X 60mm | ||
| 运动分辨率 | 0.76μm | ||
| 激光束重复定位精度 | ±2.5μm | ||
| 运动方式 | 平面电机或直线电机 | ||
| 运动范围 | 290mm*260mm | ||
| 重复定位精度 | ±1μm | ||
| 运动速度（空载） | 900mm/s | ||
| 测量速度 | 25μs/次 | ||
| 探针板规格 | 标准P48 | ||
| 品牌 | 三工精密 | ||
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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 型号规格 | LT7130/G/U | ||
| 激光波长 | 1064nm/532nm/355nm | ||
| 激光功率 | 8W/5W/3W | ||
| 对焦方式 | 自动 | ||
| 冷却方式 | 水冷 | ||
| 激光束运动范围 | 60mm X 60mm | ||
| 运动分辨率 | 0.76μm | ||
| 激光束重复定位精度 | ±2.5μm | ||
| 运动方式 | 平面电机或直线电机 | ||
| 运动范围 | 290mm*260mm | ||
| 重复定位精度 | ±1μm | ||
| 运动速度（空载） | 900mm/s | ||
| 测量速度 | 25μs/次 | ||
| 探针板规格 | 标准P48 | ||
| 品牌 | 三工精密 | ||
