| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 驱动方式 | 电动 | ||
| 吸气口法兰 | VG250 ISO-B250 | ||
| 排气速度N2 (L/s) | 2400 | ||
| 排气速度H2 (L/s) | 1100 | ||
| zui大压缩比N2 | 1×10E8 | ||
| zui大压缩比H2 | 1.4×10E3 | ||
| 启动时间 | 4~5min | ||
| 停止时间 | 4~5min | ||
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | 45kg | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 型号 | TG2400M | ||
OSAKA分子泵?大阪分子泵
磁悬浮轴承型复合分子泵 TG-M系列
使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品
该系列产品型号：
TG397M、TG427M、TG907M、TG1307M、TG390M、TG420M
TG900M、TG1300M、TG2400M、TG-MU、TG-ML、TG-MI
TG2400M涡轮分子泵
?全方位安装
轻巧设计
节能
分子泵停止与启动时间短
附带维护警报机能
低振动
无需调整
自动校准
可控制转子旋转速度
大流量排气
多种通信模式
符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE
产品应用：
?半导体制造
?电子枪排气，离子源排气
?FPD制造
?表面处理，表面改质
?各种电子部件的制造
?分析，试验装置
?管球制造，光学部件制造
?加速器，放射线设施，核聚变研究
?热处理
?研究开发
技术参数：
| 吸气口法兰 | VG250 ISO-B250 | |
| 排气速度 | N2?(L/s) | 2400 |
| N2(附加金属保护网) (L/s) | 2300 | |
| H2?(L/s) | 1100 | |
| zui大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1.4×103 | |
| 极限压力 | VG?ISO-B (Pa/Torr) | <1×10-6?/ <7.5×10-9? |
| zui大气体流量※1 | N2?(sccm) | 3000 |
| 启动时间 | (min)? | 4~5 |
| 停止时间 | (min) | 4~5 |
| 允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 200 / 1.5 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧500 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | (kg)?? | 45 |
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