| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| OSAKA大阪分子泵 TGkine3300M-R / TGkine3400M-R 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 吸气口法兰 | VG300 / ISO-B320 | ||
| 排气口法兰 | KF40 / KF50 | ||
| 排气速度N2 (L/s) | 3300/3100 | ||
| 排気速度H2 (L/s) | 2700 | ||
| 大压缩比N2 (sccm) | 2600 | ||
| 大压缩比Ar (sccm) | 1900 | ||
| 起动时间 | ≦11min | ||
| 停止时间 | ≦13min | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 型号 | TGkine3300M-R / TGkine3400M-R | ||
省电设计?????
在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。?
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。?????
支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）?????
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2产品用途：半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器
技术参数：
| 型号※1 | TGkine3300M-R | TGkine3400M-R | |
| 吸气口法兰 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
| 排气口法兰※2 | KF40 / KF50 | ||
| 排気速度 | N2?(L/s) | 3300 | |
| N2 (付带金属保护网)?(L/s) | 3100 | ||
| H2?(L/s) | 2700 | ||
| zui大压缩比 | N2 | >1×108 | |
| H2 | 3×103 | ||
| zui大气体流量※3、※4 | N2?(sccm) | 2600 | |
| Ar?(sccm) | 1900 | ||
| 起动时间 | (min) | ≦11 | |
| 停止时间 | (min) | ≦13 | |
| 到达压力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
| (Torr） | <1.5×10-9 | ||
| zui大排气口压力※6 | (Pa) | 110 | |
| (Torr） | 0.82 | ||
| 推荐前级泵 | (L/min) | ≧2000 | |
| 安装方向 | 任意 | ||
| 质量 | (kg) | 64 / 65 | 67 |
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