| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 | ||
| 极限压力 | 1×10-6Pa | ||
| 启动时间 | 2-2.5min | ||
| 停止时间 | 5-6.5min | ||
| 安装角度 | 任意 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
OSAKA大阪真空
全方位安装复合分子泵 TG-F系列
使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。
产品型号：
TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F
TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F
产品特点：
全方位安装
?轻巧设计
?节能
?迅速启动
?使用破控功能可迅速停止
?耐大气冲击能力强
?多种通信模式
?符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
产品应用：
半导体制造
?电子枪排气，离子源排气
?FPD制造
?表面处理，表面改质
?各种电子部件的制造
?分析，试验装置
?管球制造，光学部件制造
?加速器，放射线设施，核聚变研究
?热处理
?研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列
技术参数：
| 吸气口法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
| 排气速度 | VG/ISO-R?CF N2?(L/s) | 350/330 |
| VG/ISO-R?CF N2(附加金属保护网) (L/s) | 330/310 | |
| VG/ISO-R?CF H2?(L/s) | 210 | |
| zui大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 极限压力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| zui大气体流量※1 | N2 (sccm) | 500 |
| 启动时间 | (min)? | 2-2.5 |
| 停止时间 | (min) | 5-6.5 |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
- ※1：辅助泵的容量是160L/min情况下的zui大容许流量
- [ 使用环境温度 ]
- 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
控制器型式 TC353 输入电压(ACV) 100-110 (±10) / 200-230 (±10) 输入频率(Hz) 50/60 相数 単相 所需zui大电力(VA) 610 输出频率(Hz) 750 重量(kg) 2.7 标准附属品 ?输入接头 1个
?远控接插头 1个
?通信接插头1个
?使用说明书 (机身，通信)各1套
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