| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R / TGkine4200M-R 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 重量 | 72KG | ||
| 驱动方式 | 电动 | ||
| 输送介质 | 空气 | ||
| 吸气口法兰 | VG300 / ISO-B320/VG350 | ||
| 排气口法兰 | KF40/KF50 | ||
| 排気速度N2 (L/s) | 3600/4200 | ||
| 排気速度H2 (L/s) | 2700 | ||
| 起动时间 | ≦12min | ||
| 停止时间 | ≦14min | ||
| 安装方向 | 正立或倒立安装 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 型号 | TGkine3800M-R / TGkine4200M-R | ||
OSAKA分子泵 大阪分子泵
TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
产品特点：
省电设计??????在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。?
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。??????
支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）??????
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
产品应用：半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器技术参数：
| 型号※1 | TGkine3800M-R | TGkine4200M-R | |
| 吸气口法兰 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
| 排气口法兰※2 | KF40 / KF50 | ||
| 排气速度 | N2?(L/s) | 3600 | 4200 |
| N2(付带金属保护网)?(L/s) | 3400 | 4000 | |
| H2?(L/s) | 2700 | 2700 | |
| zui大压缩比 | N2 | >2×108 | |
| H2 | 2×103 | ||
| zui大气体流量※3、※4 | N2?(sccm) | 2800 | |
| Ar?(sccm) | 1300 | ||
| 起动时间 | (min) | ≦12 | |
| 停止时间 | (min) | ≦14 | |
| 到达压力※5 | (Pa） | <5×10-7 | |
| (Torr） | <3.8×10-9 | ||
| zui大排气口压力※6 | (Pa) | 160 | |
| (Torr） | 1.2 | ||
| 推荐前级泵 | (L/min) | ≧2000 | |
| 安装方向 | 正立或倒立安装 | ||
| 质量 | (kg) | 72 / 74 | 70 |
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